Влияние фемтосекундного лазерного облучения и термического отжига на структурные, оптические и электрофизические свойства кремниевых наносистем Шулейко Дмитрий Валерьевич

Краткое описание

Шулейко, Дмитрий Валерьевич.
Влияние фемтосекундного лазерного облучения и термического отжига на структурные, оптические и электрофизические свойства кремниевых наносистем : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Шулейко Дмитрий Валерьевич; [Место защиты: Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова]. - Москва, 2019. - 127 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Шулейко Дмитрий Валерьевич
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
1.1 Модификация пленок аморфного гидрогенизированного кремния фемтосекундными лазерными импульсами
1.1.1 Нанокристаллизация пленок аморфного гидрогенизированного кремния под действием фемтосекундных лазерных импульсов
1.1.2 Электрофизические свойства пленок аморфного гидрогенизированного кремния, модифицированных фемтосекундными лазерными импульсам
1.1.3 Поверхностный рельеф и оптические свойства пленок аморфного гидрогенизированного кремния, модифицированных фемтосекундными лазерными импульсами
1.2 Формирование лазерно-индуцированных периодических нано- и микроструктур структур на поверхности кремния
1.2.1 Формирование поверхностных периодических структур на кристаллическом кремнии
1.2.2 Поверхностные периодические структуры на аморфном кремнии
1.3 Оптические и электрофизические свойства пленок на основе оксида и нитрида с кремниевыми нанокристаллами, полученными в результате термического отжига
1.3.1 Сверхрешетки на основе слоев оксида и нитрида кремния с кремниевыми нанокристаллами
1.3.2 Эффект резистивного переключения в структурах на основе оксида и нитрида кремния, содержащих кремниевые нанокристаллы
1.3.3 Оптические свойства пленок нитрида кремния с кремниевыми нанокристаллами
1.4 Выводы из обзора литературы и постановка задачи исследования
ГЛАВА 2. ИССЛЕДОВАННЫЕ ОБРАЗЦЫ И МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЙ
2.1. Пленки аморфного гидрогенизированного кремния, модифицированные фемтосекундным лазерным излучением
2.2. Сверхрешетки на основе оксида и нитрида кремния с кремниевыми нанокристаллами, сформированными в результате термического отжига
2.3. Методики исследования образцов
2.3.1. Структурные методы анализа модифицированных пленок аморфного кремния
2.3.2. Электрофизические измерения
2.3.3. Оптические измерения
ГЛАВА 3. ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ НА СТРУКТУРНЫЕ И ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК АМОРФНОГО ГИДРОГЕНИЗИРОВАННОГО КРЕМНИЯ
3.1. Формирование периодических структур на поверхности аморфного гидрогенизированного кремния под действием фемтосекундных лазерных импульсов
3.2. Нанокристаллизация пленок аморфного гидрогенизированного кремния, полиморфные модификации кремния и анизотропия комбинационного рассеяния света
3.3. Взаимосвязь структурной анизотропии и электрофизических свойств модифицированных пленок аморфного гидрогенизированного кремния
ГЛАВА 4. ВЛИЯНИЕ ТЕРМИЧЕСКОГО ОТЖИГА НА ФОРМИРОВАНИЕ, СВОЙСТВА РЕЗИСТИВНОГО ПЕРЕКЛЮЧЕНИЯ И ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЮ КРЕМНИЕВЫХ НАНОКЛАСТЕРОВ В СВЕРХРЕШЕТКАХ ОКСИДА И НИТРИДА КРЕМНИЯ
4.1. Эффект резистивного переключения в сверхрешетках нитрида кремния с кремниевыми нанокристаллами
4.2. Эффект накопления заряда в сверхрешетках на основе оксида и нитрида кремния
4.3. Фотолюминесценция кремниевых нанокластеров в сверхрешетках оксида и нитрида кремния
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТРЕАТУРЫ
114